六方氮化硼颗粒制备方法研究进展

・　９２　・　材料导报Ａ：综述篇　２０１５年５月（上）第２９卷第５期　六方氮化硼颗粒制备方法研究进展　何冬青　，梁嘉呜。，梁兵　（１沈阳化工大学材料科学与工程学院，沈阳１１０１４２；２南京理工大学化工学院，南京２１００９４）　摘要　概述了六方氮化硼颗粒制备方法及研究现状。介绍了先驱体法、化学气相沉积法、传统高温法、水（溶　剂）热法等不同的制备方法，对合成六方氮化硼颗粒的工艺条件对颗粒形成的影响做了深入的综述。经过分析进一　步得出高温精制及在焙烧时加入适量的助剂将会提高产物的结晶度和纯度，指出了各种制备方法的优劣及如何避免　合成中存在的问题，并进一步展望了各种制备方法的前景。　关键词　六方氮化硼颗粒制备方法工艺条件　文献标识码：Ａ　ＤＯＩ：１Ｏ．１１８９６／ｊ．ｉｓｓｎ．１００５—０２３Ｘ．２０１５．０９．０１５　中图分类号：ＴＢ３３２　Ａｄｖａｎｃｅｓ　ｉｎ　Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　Ｈｅｘａｇｏｎａｌ　Ｂｏｒｏｎ　Ｎｉｔｒｉｄｅ　Ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ＨＥ　Ｄｏｎｇｑｉｎｇ　，ＬＩＡＮＧ　Ｊｉａｍｉｎｇ。，ＬＩＡＮＧ　Ｂｉｎｇ　（１　Ｃｏｌｌｅｇｅ　ｏｆ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ　１１０１４２；　２　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｓｃｉｅｎｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ　２１００９４）　Ａｂｓｔｒａｃｔ　Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｍｅｔｈｏｄｓ　ａｎｄ　ｃｕｒｒｅｎｔ　ｒｅｓｅａｒｃｈ　ｓｔａｔｕｓ　Ｏ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ａｒｅ　ｒｅｖｉｅｗｅｄ．　Ｔｈｅ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｒｏｕｔｅｓ　ｆｏｒ　ｈ－ＢＮ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ　ｐｒｅｃｕｒｓｏｒ　ｍｅｔｈｏｄ，ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌ　ｈｉｇｈ　ｔｅｒｎ—　ｐｅｒａｔｕｒｅ　ｍｅｔｈｏｄ　ａｎｄ　ｈｙｄｒｏｔｈｅｒｍａｌ（ｓｏｌｖｏ　ｔｈｅｒｍａ１）ｍｅｔｈｏｄ，ａｒｅ　ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ｔｈｅ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｅｓ　ｏｆ　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｇｒｏｗｔｈ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ａｒｅ　ｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｆｕｒｔｈｅｒ　ａｎａｌｙｓｉｓ　ｉｎｄｉｃａｔｅｄ　ｔｈａｔ　ｈｉｇｈ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｒｅｆｉｎｉｎｇ　ｏｆ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ａｎｄ　ａｄｄｉｎｇ　ａ　ｃｅｒｔａｉｎ　ａｍｏｕｎｔ　ｏｆ　ａｄｄｉｔｉｖｅｓ　ｄｕｒｉｎｇ　ｒｏａｓｔｉｎｇ　ｗｉｌｌ　ｉｎｃｒｅａｓｅ　ｔｈｅ　ｄｅｇｒｅｅ　ｏｆ　ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｉｔｙ　ａｎｄ　ｐｕｒｉｔｙ　ｏｆ　ｐｒｏｄｕｃｔ．Ｔｈｅ　ａｄｖａｎｔａｇｅｓ　ａｎｄ　ｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓ　ｏｆ　ｖａｒｉｏｕｓ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｍｅｔｈｏｄｓ　ａｎｄ　ｓｔｒａｔｅｇｙ　ｆｏｒ　ａｖｏｉｄｉｎｇ　ｔｈｅ　ｐｒｏｂｌｅｍｓ　ｉｎ　ｔｈｅ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ａｒｅ　ｐｒｅｓｅｎｔｅｄ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ｔｈｅ　ｐｒｏｓｐｅｃｔ　ｏｆ　ｔｈｅｓｅ　ｍｅｔｈｏｄｓ　ａｒｅ　ｐｒｏｐｏｓｅｄ．　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ，ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｍｅｔｈｏｄ，ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ　０引言　六方氮化硼材料具有优良的耐热性能、良好的耐腐蚀性　能、较低的热膨胀系数、较高的导热率、优良的润滑性和化学　稳定性等优点。六方氮化硼颗粒作为一种用途非常广泛的　产品，不同领域对于品质都有不同的要求，例如导热行业要　求产品纯度高、结晶粒度大；陶瓷行业要求氧含量低、具有一　定的乱层结构；化妆品行业要求重金属含量低、白度好、堆密　１　制备方法　１．１先驱体法　先驱体法为制备各种形态的六方氮化硼陶瓷材料提供　了一条新的路径，该方法集分子的可设计性、良好的工艺性　和可实现近净成型等优点于一体，成为制备陶瓷材料的一种　重要方法　］。先驱体是先驱体法制备六方氮化硼的关键，世　界各国都在六方氮化硼先驱体的设计与合成方面竞相开展　了大量研究工作，并成功开发了几种六方氮化硼先驱体，在　先驱体法制备六方氮化硼材料方面取得了一些成果　］。先　驱体法制备六方氮化硼颗粒的工艺流程见图１。　Ｗｏｏｄ等Ⅲ８　以四硼酸胍盐与五硼酸胍盐为先驱体，先在　度小、粒度适中等口　］。自１９９１年由Ｐａｉｎｅ等［４　首次用电镜　观察到以聚硼氮烷类物质的氨水溶液作为原料制备出微米　级的气溶胶，然后在管式炉内热解得到的白色六方氮化硼纳　米球以来，材料工作者对于六方氮化硼颗粒的制备进行了大　氨气气氛下１０００￣１４００℃煅烧４　ｈ，然后在１６００℃除氧，并　量的研究工作。近几年来，随着对六方氮化硼材料研究的不　断深入，各种新的制备方法相继出现。　分析温度和反应气氛对氧含量的影响，在前期煅烧中氧含量　为３　～１８　（质量分数），而在１６００℃氨气气氛下除氧后的　本文综述了目前各种六方氮化硼颗粒的制备方法，总结　了各种方法的优缺点，对提供新的制备工艺及思路有所裨　益。　氧含量低于１　（质量分数），这是因为在１６００℃时杂质氧化　硼完全分解，并且在氨气气氛下属于加氢反应，氨气中的氢　元素可以很好地除去产物中的氧元素，而使产物纯度更高。　＊国家科技支撑计划（２０１２ＢＡＢ０６Ｂ０３）；国家国际科技合作与交流专项（２Ｏ１３ＤＦＡ５１２Ｏ０）　何冬青：男，１９９０年生，硕士生，主要从事功能材料合成研究　梁兵：通讯作者，男，１９６８年生，教授，主要从事功能高分子材料合成　研究Ｅ－ｍａｉｌ：ｌｂ１００７＠１６３．ｃｏｒｎ　六方氮化硼颗粒制备方法研究进展／何冬青等　该实验最终制备出直径在１～２　ｍ，密度为２．２５　ｇ／ｃｍａ（与　理论值２．２７　ｇ／ｃｍ。非常接近）的球状六方氮化硼颗粒。　————　搅拌冷却Ｌ—————　——ｒ一　高温焙烧　六方氮化硼颗粒　气氛　图１先驱体法制备六方氮化硼颗粒的工艺流程图　Ｆｉｇ．１　Ｐｒｏｃｅｓｓ　ｆｌｏｗ　ｄｉａｇｒａｍ　ｆｏｒ　ｐｒｅｃｕｒｓｏｒ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　Ｔａｋａｓｈｉ　Ｋａｗａｓａｋｉ等［９　将三聚氰胺和硼酸以物质的量　比１：２及一定量的碳酸钙加入到温度为９Ｏ℃、相对湿度为　９Ｏ　的混合器中混合６　ｈ。经Ｘ射线衍射分析得到针状　Ｃ。Ｈ　Ｎ。・２Ｈ。ＢＯ。先驱体。随后将先驱体在氮气气氛中于　１８００℃焙烧２　ｈ。最后用稀处理最终产物，目的是除去　产物中的硼酸钙。该工艺制备的六方氮化硼颗粒粒径可达　４５／，ｍ，密度可达１．７５　ｇ／ｃｍ。，纯度在９Ｏ　以上，而提高焙烧　温度以及加入Ｎａ。ＣＯ。可使密度达到１．９６　ｇ／ｃｍ。。同样以硼　酸一三聚氰胺先驱体法合成六方氮化硼，大连理工大学的冯艳　春等＿１ｏ］以三聚氰胺与硼酸物质的量比为１：２，反应浓度为　０．４　ｍｏｌ／Ｌ，采用湿化学法合成棒状先驱体。综合ＩＲ、ＸＲＤ　和元素分析，说明该先驱体是通过分子间氢键形成的含有Ｂ、　Ｃ、Ｎ的一种化合物，其先驱体的分子式为Ｃ。Ｈ　Ｎ。・　２Ｈ。Ｂ０。，再将该先驱体在空气气氛中于９５０℃下焙烧６　ｈ，　在此条件下制得粒径分布在１０￣３０　ｍ之间，平均粒径在１５　ｔＬｍ左右，纯度为９３．９８％的六方氮化硼颗粒。硼酸一三聚氰　胺先驱体法制备的六方氮化硼颗粒粒径大、纯度高，而且生　产成本低、工艺流程简单，缺点是普遍密度较低，但是可以在　焙烧阶段加入适当的助剂来提高其致密度。　温广武等＿１　将三氯硼吖嗪固体颗粒溶于甲苯中，加热至　１４０℃反应３～１５　ｈ，制得棕色液体，并在１１０～１３５℃下减压　蒸馏，合成出分子式为ＥＢ。Ｎ。ｃｌＨ］　的聚合三氯硼吖嗪先驱　体，然后将该先驱体在１４００℃氮气气氛中保温１～３　ｈ，最后　制备出直径在３～５　ｍ，纯度大于９９　，表面光滑的六方氮　化硼实心微球。这种方法将六方氮化硼的先驱备成聚　合物型，而由于聚合物构型、构象的多样化，制备出的六方氮　化硼颗粒也具有不同的性能。例如，支链较多的聚合物先驱　体，制备出的颗粒就具有乱层结构。　Ｙｕｔｉｎｇ　Ｗａｎｇ等口　采用以硼氢化钠和氨基磺酸铵为原　料制备的硼烷氨为先驱体，分别在氨气、氮气、氩气气氛中于　１３００￣１７００℃下焙烧，最后制备出直径在几百纳米的六方氮　化硼球，并分析了影响六方氮化硼球尺寸以及结晶行为的因　素。在氨气气氛中焙烧后的氮化硼颗粒具有很好的结晶表　面以及无定形晶核；在氮气中焙烧后的氮化硼颗粒表现出良　好的结晶度以及晶体取向随机分布；而在氩气中焙烧后的氮　化硼颗粒取向倾向于颗粒的表面。　刘素静等　采用以氧化硼和甲醇为原料制备的硼酸三　甲酯为先驱体，经超声雾化后与氨气在１２００℃下退火反应　４　ｈ，最后制备了大量直径在１００～２００　ｎｍ的球形六方氮化　・　９３　・　硼颗粒。需要注意的是，在制备硼酸三甲酯时，为了减少反　应过程中生成水的影响，在先驱体溶液配制过程中放入一定　量硅胶以吸收水进行干燥。　张宁等Ⅲ　以硼酸、硼砂、尿素为原料，丙烯酰胺、Ｎ，　Ｎ一亚甲基双丙烯酰胺和过硫酸铵作为网络剂，在６０℃恒温　水浴中充分反应后得到先驱体凝胶。将先驱体凝胶放人２００　℃烘箱中彻底烘干脱水后研磨得到先驱体粉体，然后将先驱　体粉体在３００℃的氨气气氛中保温１　ｈ，继续升温到８００℃　进行氮化并保温３　ｈ，之后随炉冷却，获得高结晶度球状六方　氮化硼颗粒。经测试分析得该六方氮化硼颗粒石墨化指数　ＧＩ为３．４２，直径大约为５００　ｎｍ。当分别加入表面活性剂（聚　乙二醇）和催化剂（镁粉）时都会影响形状大小，加表面活性　剂（聚乙二醇）制备的六方氮化硼颗粒直径可以达到７００　ｎｍ　左右，而加催化剂（镁粉）制备的六方氮化硼颗粒直径约为　３００　ｎｍ。　１．２化学气相沉积法　化学气相沉积法（ＣＶＤ）＿＿１　作为一种合成高性能材料的　新技术，日益受到材料工作者的重视，并得到了广泛应用。　化学气相沉积法制备六方氮化硼颗粒一般采用热壁式反应　器，将含Ｂ、Ｎ的气态原料通过载气导入到反应室内，在高温　下气态原料之间发生化学反应生成六方氮化硼颗粒。化学　气相沉积法制备的六方氮化硼颗粒纯度和球形度都比较高，　但在制备过程中需要对多种因素进行精确控制。化学气相　沉积法反应实验装置如图２所示。　一氨气　一氮气　真空泵　冷阱　原料　图２化学气相沉积法实验装置图　Ｆｉｇ．２　Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ　ｄｅｖｉｃｅ　ｏｆ　ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ｙｏｓｈｉｏ　Ｂａｎｄｏ等口　以硼酸三甲酯、氨气为原料，氩气、氮　气、氨气为载气，在９８０℃通过化学气相沉积法制备出一些　氮化硼颗粒，然后在１４００℃下煅烧，得到直径在５０￣４００　ｎｍ　之间的球状六方氮化硼颗粒，平均直径约为９０　Ｉｌｍ。该方法　制备的六方氮化硼颗粒粒径较小，球形度比较高，但需要控　制的因素较多且杂质的回收处理比较困难。　Ｃｈｅｎ　Ｋｕｎ等口９］选取硼酸乙酯、氨气为反应物，氩气为载　气，通过化学气相沉积法在７００℃反应合成了含氧杂质的六　方氮化硼纳米球粒，然后将其进一步在１０００℃的氨气气氛　中进行氨化除氧，得到了粒径在８０～１２０　ｎｍ的六方氮化硼　球形颗粒。而Ｙｕａｎ　Ｓｏｎｇｄｏｎｇ等［２叩以硼酸甲酯和氨气为反　应物，氮气为载气，在不同的化学气相沉积反应温度条件下　制备六方氮化硼纳米球体。当反应温度为９５０℃时，所得产　物的形貌为规整的、表面光滑的球形，其粒径最小约为６０　ｎｍ，粒径均一，没有孪晶；随着反应温度升高，产物中硼氮元　素的物质的量比接近１：１，当温度超过１０００　ｏｃ以后，样品中　的大部分还是保持球形形貌，但粒径开始变大，且开始出现　・　９４　・　材料导报Ａ：综述篇　２０１５年５月（上）第２９卷第５期　孪晶，温度越高，孪晶的数量就越多，而且部分样品开始变为　扁平状。　国防科技大学的李俊生等＿２妇以环硼氮烷为先驱体，以　Ｎ。为载气，采用化学气相沉积法在９００℃制备了较纯净的　部分结晶纳米球形氮化硼颗粒，颗粒粒度约５０　ｎｍ。产物再　经１６００℃晶化处理，得到结晶良好的六方氮化硼颗粒。该　方法制备的六方氮化硼为比较规则的细小球形颗粒，尺寸均　匀。而进一步观察其微观结构，可以看到此球形颗粒表面凹　凸不平，是由许多更微小的球组成，这对于提高颗粒的比表　面积具有重要意义。　１．３传统高温法　传统高温法是制备六方氮化硼颗粒的重要途径，目前工　业上最常用的就是以硼砂和尿素（或氯化铵）为原料，在氨气　气氛下高温制备六方氮化硼颗粒且实现了连续化生产＿２　。　虽然传统高温法制备六方氮化硼生产成本较低、工艺流程简　单、适合工业生产，但是由于原料混合不均匀、物料接触面积　不等、传热和受热程度不同等因素的影响，使其制备的产物　在粒度、纯度、形貌和结晶度上很不稳定，波动性较大。传统　高温法制备六方氮化硼颗粒的工艺流程见图３。　图３传统高温法制备六方氮化硼颗粒的工艺　Ｆｉｇ．３　Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｐｒｏｃｅｓｓ　ｆｏｒ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｂｙ　ｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌ　ｈｉｇｈ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｍｅｔｈｏｄ　郑盛智等口　采用硼砂一氯化铵法，先将硼砂、氯化铵混　合，再将混合物压成５　ｃｍ圆饼，然后在９００℃的氨气气氛下　焙烧４　ｈ，得到粒度（　。）为０．８４　ｍ的六方氮化硼颗粒，石墨　化指数ＧＩ为３．４２，随后将该六方氮化硼水洗放人真空炉中　于２０６０℃高温精制，最终得到粒度（　。）为３～５　ｐｍ的六方　氮化硼颗粒，石墨化指数ＧＩ为１．７１，纯度在９９　以上。该　实验表明，高温处理可明显提高六方氮化硼颗粒的各项指　标，高温精制更好地除去了碳、氢、氧等杂质，纯度较高的氮　化硼更容易结晶，同时晶粒也会生长得更大。　Ｌｉ　Ｄｕａｎ等［２　采用硼酸一尿素法，先将硼酸和尿素通过球　磨混合，随后将混合物放入８５０℃的氮气气氛下焙烧２　ｈ，然　后继续在空气中焙烧２　ｈ，最终得到直径约为５　ｍ的六方氮　化硼颗粒。这种方法明显提高了原料的利用率，减少了副产　物的生成，原因在于硼酸高温脱水会生成氧化硼，而氧化硼　会与尿素分解的氨气反应生成氮化硼。　张相法等ｌ＿２５］分别采用硼砂一氯化铵法、硼砂一尿素法、硼　砂一三聚氰胺法制备六方氮化硼颗粒，这些方法都是将原料混　合均匀后，放入高温炉在氨气气氛下高温焙烧，再经一系列　后处理得到纯度较高的六方氮化硼颗粒。硼砂一氯化铵法制　备的六方氮化硼颗粒最大粒径为２８．５３　ｇ．ｍ，平均粒径为　２．８０６　ｍ，纯度为９３　～９８　；硼砂一尿素法制备的六方氮化　硼颗粒最大粒径为３７．００２　ｍ，平均粒径为４．１３８　ｍ，纯度　为９５　～９８　；硼砂一三聚氰胺法制备的六方氮化硼颗粒最　大粒径为４３．２５１　ｍ，平均粒径为４．９７２，ｕｍ，纯度为９７　～　９８　。通过数据分析，硼砂一三聚氰胺法制备的颗粒粒径较　大，其原因是与氯化铵和尿素相比三聚氰胺的氮含量最高，　并且氯化铵和尿素的热稳定性较差。　１．４水（溶剂）热法　水（溶剂）热法是在密封的高压反应釜里，以水（或有机　溶剂）为反应介质，通过加热高压反应釜，形成高温、高压的　反应环境，使难溶或不溶的反应原料溶解并发生反应生成新　的晶体。用水（溶剂）热法合成六方氮化硼的研究已有很多　报道，这种方法制备六方氮化硼的工艺条件容易控制，可在　相对较低温度下制备出六方氮化硼颗粒，产物的粒度可以达　到纳米级且分布均匀，球形度良好，但产率普遍偏低。另外，　多数原料不稳定且有毒，对环境污染比较大。因此，选用合　适的原料、溶剂和添加剂来降低反应温度并提高产物的产率　是今后的重点研究方向＿２　。水（溶剂）热法工艺流程如图４　所示　匝至　臣　］＿　图４水（溶剂）热法制备六方氮化硼颗粒的工艺　Ｆｉｇ．４　Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｐｒｏｃｅｓｓ　ｆｏｒ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｂｙ　ｈｏｔ　ｗａｔｅｒ（ｓｏｌｖｅｎｔ）ｍｅｔｈｏｄ　Ｆａｎｇ　Ｗｅｉ等＿２刀以氨基钠和三氯化硼为原料，苯为反应　溶剂，搅拌一段时间后，把得到的混合溶液装入反应釜内，再　向反应釜内加入苯使填充率达到７Ｏ　，用高纯氮气排除反应　釜内残存的空气后封釜。然后将反应釜加热到３５０℃反应　２４　ｈ，自然冷却至室温，最终得到平均粒径在４００　ｎｍ左右呈　球形的六方氮化硼颗粒，经透射电镜分析可以看到这些较大　颗粒是由粒度较小的颗粒团聚而成的。　Ｇｅ　Ｌｅｉ等＿２。　以氮化锂和三溴化硼为原料，苯为反应溶　剂，经超声分散得到均匀的悬浮液后装入１００　ｍＬ反应釜，添　加苯使填充率为７０　，用高纯氮气将釜内空气排除后封釜。　最后，将反应釜加热到２２０℃保温一定时间，自然冷却至室　温。研究结果表明，反应产物主要为六方氮化硼，同时含有　少量立方氮化硼，随着反应时间从１２　ｈ延长至３６　ｈ，晶粒尺　寸从２０　ｎｍ增大至８０　ｎｍ，而在反应物中加入十二烷基苯磺　酸钠后，可以控制晶粒大小在１０　ｎｍ左右，并且随着十二烷　基苯磺酸钠用量的增加，产物的球形度和分散度都得到较大　提高，六方氮化硼的含量也有所提高。　１．５其他方法　随着科学技术的飞速发展，合成六方氮化硼颗粒的方法　无论是理论研究还是实际工艺操作都有了长足的发展。一　些特殊的六方氮化硼颗粒合成方法相继被发现并报道，但由　于这些方法存在一些阻碍（设备昂贵、操作繁杂或对环境条　件要求苛刻），使得这些方法的应用并不广泛。　Ｈｉｄａｌｇｏ等＿２叼以硼吖嗪为原料，通过激光化学气相分解　法制备出直径在２Ｏ～１００　ｎｍ之间的六方氮化硼颗粒，产率　高达８３　，Ｂ、Ｎ元素物质的量比为１：１。该方法需要的激　光频率为１０　Ｈｚ，光束直径３　ｍｍ，脉冲持续时间大约１０　ｎｓ，　合成机理就是通过光诱导除氢。　Ｐａｉｎｅ实验小组［３　通过气溶胶法先将硼酸、氨气、蒸　六方氮化硼颗粒制备方法研究进展／何冬青等　馏水、Ｎ，Ｎ一二甲基甲酰胺（ＤＭＦ）、硼酸三甲酯（Ｂ（ＯＭｅ）３）　・　９５　・　参考文献　１　Ｂｕｒｃｕ　Ｅｒｔｕｇ．Ｐｏｗｄｅｒ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ，ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ａｎｄ　ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　形成Ｈ３ＢＯ３／ＤＭＦ／ＮＨ３、Ｈ３ＢＯ３／Ｈ２Ｏ／ＮＨ３、Ｂ（ＯＭｅ）３／ＮＨ３　这３种气溶胶，然后将气溶胶经高温热解制备出微米级或亚　微米级的球状六方氮化硼颗粒，粒径平均在１～２　ｍ，密度为　ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ　ｏｆ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ＥＤ３．Ｉｓｔａｎｂｕｌ：Ｉｓｔａｎ—　ｂｕｌ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，２０１３　１．８～２．０　ｇ／ｃｍ。。分析表明，温度越高氮化硼颗粒的结晶度　越高，并且随着温度升高，产物中的氧含量减少，而该实验的　２郭胜光，吕波，王积森，等．氮化硼合成及应用的研究Ｉ－Ｊ］．　较佳温度为１６００℃。　李成威等［３列采用自蔓延高温合成法，将氧化硼、镁粉、硼　粉、尿素、氮化硼粉经干燥混合，压制坯块，然后将干燥好的　坯块放入自制的反应器中，先向反应器中通入氮气排除空　气，然后通人高压氮气，保持容器内压力２Ｏ～３０　ＭＰａ，通过　点火器点燃物料进行自蔓延反应。最后制备出纯度不低于　９９．５　，平均粒度（　。）大于１　Ｆｍ的高密度的六方氮化硼颗　粒。自蔓延法具有节能、反应迅速、生产效率高等特点，并且　避免了助烧剂的加入使六方氮化硼颗粒的高温使用性能下　降的缺点。但是，自蔓延法存在反应剧烈、合成过程难以控　制，以及坯体内部原料相互接触不充分而导致产物转化率和　致密度低的问题，还需要进一步研究完善。　从对于以上六方氮化硼颗粒制备方法的概述，可以清晰　地看出各种制备方法的优势和不足。先驱体法制备的六方　氮化硼颗粒粒径普遍较大，但致密度较低，而不同结构的先　驱备出的六方氮化硼具有不同的性能，因此先驱体的设　计是未来研究的方向；化学气相沉积法制备的颗粒粒径较小　且纯度和球形度较高，而且可以通过控制反应条件来调节氮　化硼颗粒中碳、氧的质量分数，表面存在微量的碳、氧有利于　改善氮化硼颗粒的表面活性，但该工艺需要精确控制的因素　较多，副产物的回收处理比较困难；传统高温法工艺流程简　单、生产成本低，但制备出的产物在纯度、粒度、形貌和结晶　度上的波动比较大，因此改善原料混合不均匀，传热和受热　不稳定等这些因素是优化传统高温法的必要条件；水（ｔｇ剂）　热法的工艺条件相对容易控制，产物粒度可达到纳米级，均　匀性和球形度良好，但产率普遍偏低，因此选用合适的溶剂、　原料和添加剂来降低反应温度并提高产率将是以后研究的　重点。　２展望　从六方氮化硼首次合成至今，研究者们已经制备出不同　级别的六方氮化硼颗粒（纳米级、几微米级、几十微米级颗　粒），同时对其制备方法、结构特点和性能做了诸多探索，并　取得了一系列的重要进展。其中纳米级颗粒粒度小、润滑性　好，将应用于润滑油添加剂、化妆品等行业；几微米级颗粒耐　热性好、热膨胀系数低、电绝缘性好，将应用于耐高温涂料、　合成立方氮化硼、制备特种陶瓷等行业；几十微米级颗粒导　热性好并具有稳定的化学性能，将应用在导热材料、航空航　天材料、电工材料等领域。六方氮化硼颗粒的各方面性能受　纯度影响较大，而焙烧条件以及产品后处理会直接影响纯　度，因此制备高纯度的六方氮化硼颗粒是保证其广泛应用的　前提。另外，开发一种原料价廉、低能耗、无污染、工艺过程　简单的合成方法是今后的主要发展方向。　山东机械，２００４（６）：１６　３　Ｋｉｔａｈａｒａ　Ｈ，Ｏｋｕｒ　Ｙ，Ｈｉｒａｎｏ　Ｔ，ｅｔ　ａ１．Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ａｎｄ　ｃｈａｒａ－　ｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｃｏｂａｌｔ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｅｄ　ｉｎ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉ－　ｔｒｉｄｅ　ｎａｎｏｃａｇｅｓ［Ｊ］．Ｄｉａｍｏｎｄ　Ｒｅｌａｔｅｄ　Ｍａｔｅｒ，２００１，１０：１２１０　４　Ｄａｖｉｄ　Ａ　Ｌｉｎｄｑｕｉｓｔ，Ｔｏｉｖｏ　Ｔ　Ｋｏｄａｓ，Ｒｏｂｅｒｔ　Ｔ　Ｐａｉｎｅ，ｅｔ　ａ１．　Ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐｏｗｄｅｒｓ　ｆｏｒｍｅｄ　ｂｙ　ａｅｒｏｓｏｌ　ｄｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｏｆ　ｐｏｌｙ（ｂｏｒａｚｉｎｙｌａｍｉｎｅ）ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ　Ｉ－Ｊ］．Ｊ　Ａｍ　Ｃｅｒａｍ　Ｓｏｃ，１９９１，　７４（１２）：３１２６　５　Ｐａｉｎｅ　Ｒ　Ｔ。Ｓｎｅｄｄｏｎ　Ｌ　Ｇ　Ｒｅｃｅｎｔ　ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｓ　ｉｎ　ｂｏｒａｚｉｎｅ－　ｂａｓｅｄ　ｐｏｌｙｍｅｒｓ［Ｊ］．ＡＣＳ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　Ｓｅｒｉｅｓ，１９９４，５７２：３５８　６周莹莹，张昭环．有机前驱体法制备氮化硼纤维的研究进展　口］．合成纤维，２０１３，４２（６）：３５　７丁杨，曹峰，陈莉．先驱体法制备氮化硼陶瓷材料的研究进　展Ｉ－Ｊ］．材料导报：综述篇，２０１３，２７（５）：１４２　８　Ｌｙｎｎ　Ｗｏｏｄ　Ｇ，Ｊｅｒｚｙ　Ｆ　Ｊａｎｉｋ，Ｒｏｂｅｒｔ　Ｔ　Ｐａｉｎｅ，ｅｔ　ａ１．Ｎｅｗ　ｂｏｒａｔｅ　ｐｒｅｃｕｒｓｏｒｓ　ｆｏｒ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐｏｗｄｅｒ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ［Ｊ］．　Ｃｈｅｍ　Ｍａｔｅｒ，２００５，１７（７）：１８５５　９　Ｈａｒａ　Ｈ，Ｋａｗａｓａｋｉ　Ｔ，Ｋｕｒｏｄａ　Ｙ，ｅｔ　ａ１．Ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｓｙｓｔｅｍ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐｏｗｄｅｒ：ＵＳ，５８５４１５５［Ｐ］．１９９８—１２—２９　１Ｏ冯艳春，仲剑初，王．前驱物法低温合成六方氮化硼　口］．硅酸盐通报，２０１２，３１（４）：９４３　１ｌ温广武，张涛，夏龙，等．一种氮化硼微米实心球制备方法：中　国，ＣＮ　１０３３９５７５２　Ｉ－ＰＪ．２０１３－１１－２０　１２　Ｗａｎｇ　Ｙｕｔｉｎｇ，Ｙａｓｕｎｏｒｉ　Ｙａｍａｍｏｔｏ，Ｓｈｉｒｏ　Ｓｈｉｍａｄａ，ｅｔ　ａ１．　Ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ａｍｂｉｅｎｔ　ｇａｓ　ａｎｄ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｏｎ　ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｓｐｈｅｒｅｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｖａｐｏｒ　ｐｈａｓｅ　ｐｙｒｏｌｙｓｉｓ　ｏｆ　ａｍｍｏｎｉａ　ｂｏｒａｎｅ［Ｊ］．Ｊ　Ａｍ　Ｃｅｒａｍ　Ｓｏｃ，２００９，９２（４）：７８７　１３刘素静，林靖，宋海胜，等．超声雾化大尺度合成分散均匀的　球形ＢＮ颗粒［Ｊ］．华中师范大学研究生学报，２００６，１３（３）：　１４３　１４张宁，周永辉，付婷婷，等．一种高结晶度球状六方氮化硼粉　体的制备方法：中国，ＣＮ　１０２９７６２９３［Ｐ］．２０１３—０３—２Ｏ　１５张宁，周永辉，付婷婷，等．表面活性剂方式制备高结晶度球　状六方氮化硼粉体的方法：中国，ＣＮ　１０２９７６２９４［Ｐ］．２０１３一　Ｏ３—２Ｏ　１６张宁，周永辉，付婷婷，等．一种高结晶度球状六方氮化硼粉　体的催化制备方法：中国，ＣＮ　１０２９７６２９２［Ｐ］．２０１３—０３—２０　１７葛雷，杨建，丘泰．六方氮化硼的制备方法研究进展［Ｊ］．电　子元件与材料，２００８，２７（６）：２２　１８　Ｃｈｅｎｇｃｈｕｎ　Ｔａｎｇ，Ｙｏｓｈｉｏ　Ｂａｎｄｏ，Ｙａｎｇ　Ｈｕａｎｇ，ｅｔ　ａ１．Ｓｙｎ—　ｔｈｅｔｉｃ　ｒｏｕｔｅｓ　ａｎｄ　ｆｏｒｍａｔｉｏｎ　ｍｅｃｈａｎｉｓｍｓ　ｏｆ　ｓｐｈｅｒｉｃａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ［Ｊ］．Ａｄｖ　Ｆｕｎｃｔ　Ｍａｔｅｒ，２００８，１８（２２）：　３６５３　１　９　Ｃｈｅｎ　Ｋｕｎ，Ｙｕａｎ　Ｓｏｎｇｄｏｎｇ．Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｎａｎｏ　・　９６　・　材料导报Ａ：综述篇　２０１５年５月（上）第２９卷第５期　ｓｐｈｅｒｉｃａｌ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ａｎｄ　ａｎａｌｙｓｉｓ　ｏｆ　ｉｔｓ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇ　ｆａｃｔｏｒｓ口］．　Ｊ　Ｗｕｈａｎ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２００６，２８（８）：９　２０　Ｙｕａｎ　Ｓｏｎｇｄｏｎｇ，Ｗａｎｇ　Ｊｉｎｆａｎｇ，Ｃａｏ　Ｘｉａｏｙａｎ，ｅｔ　ａ１．Ｉｎｖｅｓｔｉ—　ｇａｔｉｏｎ　ｏｎ　ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ｔｈｅ　ＣＶＤ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｏｎｔｏ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｔｒｏｇｅｎ　ｓｏｕｒｃｅ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｓｏｌｖｏｔｈｅｒｍａｌ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｒｏｕｔｅ　ＥＪ］．Ｊ　Ｓｙｎｔｈ　Ｃｒｙｓｔ，２００６，３５　（３）：４８１　２８　Ｇｅ　Ｌｅｉ，Ｑｉｕ　Ｔａｉ，Ｙａｎｇ　Ｊｉａｎ．Ｓｔｕｄｙ　ｏｎ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ　ｆａｃｔｏｒｓ　ｏｆ　ｈ－　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｎａｎｏｓｐｈｅｒｅ　ＥＪ］．Ｊ　Ｗｕｈａｎ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｔｅｃｈ—　ｎｏｌｏｇｙ，２００９，３１（１４）：２７　ＢＮ　ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｓｏｌｖｏｔｈｅｒｍａｌ　ｍｅｔｈｏｄ　Ｅ　Ｊ］．Ｊ　Ｓｙｎｔｈ　Ｃｒｙｓｔ，２００９，３８（６）：１３８８　２９　Ｈｉｄａｌｇｏ　Ａ，Ｍａｋａｒｏｖ　Ｖ，Ｍｏｒｅｌｌ　Ｇ，ｅｔ　ａ１．Ｈｉｇｈ－ｙｉｅｌｄ　ｓｙｎ—　ｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｃｕｂｉｃ　ａｎｄ　ｈｅｘａｇｏｎａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｂｙ　２１李俊生，张长瑞，李斌，等．化学气相沉积法制备六方ＢＮ纳　米粉体［ｃ］／／第七届中国功能材料及其应用学术会议论文　集（第６分册）．长沙，２０１０　ｌａｓｅｒ　ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｏｆ　ｂｏｒａｚｉｎｅ［Ｊ］．Ｄａｔａｓｅｔ　Ｐａｐｅｒｓ　Ｎａｎｏｔｅｃｈｎ，２０１３，２０１３：１　２２胡婉莹．连续合成六方氮化硼的新工艺［Ｊ］．现代技术陶瓷，　２００２，２３（２）：３５　３０　Ｇａｒｙ　Ｌ　Ｗｏｏｄ，Ｒｏｂｅｒｔ　Ｔ　Ｐａｉｎｅ．Ａｅｒｏｓｏｌ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｈｏｌｌｏｗ　２３郑盛智，杰．六方氮化硼的合成与高温精制［Ｊ］．辽东学院　学报，２００８，１５（２）：６９　２４　Ｌｉ　Ｄｕａｎ，Ｚｈａｎｇ　Ｃｈａｎｇｒｕｉ，Ｌｉ　Ｂｉｎ，ｅｔ　ａ１．Ｌｏｗ－ｃｏｓｔ　ｐｒｅｐａｒａ—　ｓｐｈｅｒｉｃａｌ　ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ［Ｊ］．Ｃｈｅｍ　Ｍａ—　ｔｅｒ，２００６，１８（２０）：４７１６　３１　Ｅｕｇｅｎｅ　Ａ　Ｐｒｕｓｓ，Ｇａｒｙ　Ｌ　Ｗｏｏｄ，Ｒｏｂｅｒｔ　Ｔ　Ｐａｉｎｅ，ｅｔ　ａ１．　Ａｅｒｏｓｏｌ　ａｓｓｉｓｔｅｄ　ｖａｐｏｒ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｓｐｈｅｒｉｃａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｔｉｏｎ　ｏｆ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｃｅｒａｍｉｃ　ｐｏｗｄｅｒｓ［Ｊ］．Ｊ　Ｗｕｈａｎ　Ｕｎｉｖｅｒ—　ｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２０１２，２７（３）：５３４　ｐｏｗｄｅｒｓ　ＥＪ］．Ｃｈｅｍ　Ｍａｔｅｒ，２０００，１２（１）：１９　３２　Ｒｏｂｅｒｔ　Ｔ　Ｐａｉｎｅ，Ｗｉｌｌｉａｍ　Ｊ　Ｋｒｏｅｎｋｅ，Ｅｕｇｅｎｅ　Ａ　Ｐｒｕｓｓ．　Ｓｐｈｅｒｉｃａｌ　ｂｏｒｏｎ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ｐｒｏｃｅｓｓ，ｓｙｓｔｅｍ　ａｎｄ　ｐｒｏｄｕｃｔ　ｏｆ　ｍａ－　２５张相法，梁浩，孟令强．六方氮化硼的制备方法及在合成立　方氮化硼中的应用ＥＪ］．金刚石与磨料磨具工程，２０１２，３２　（４）：１４　ｎｕｆａｃｔｕｒｅ：ＵＳ，６３４８１７９［Ｐ３．２００２—０２—１９　３３李成威，王琳，金辉，等．自蔓延高温合成六方氮化硼粉体实　２６冯谢力．溶剂热制备氮化硼［Ｊ］．化工技术与开发，２０１３，４２　（４）：４　２７　Ｆａｎｇ　Ｗｅｉ，ＨａＧ　Ｘｉａｏｐｅｎｇ，Ｃｕｉ　Ｄｅｌｉａｎｇ　ｅｔ　ａ１．Ｅｆｆｅｃｔｓ　ｏｆ　ｎｉ一　；　验研究ＥＪ］．粉末冶金工业，２０１３，２３（１）：１０　（责任编辑杨霞）　（上接第７５页）　２５　Ｄａｉｓｕｋｅ　Ｓｕｍｏｙａｍａ，Ｋｅｍａｓ　Ｚａｉｎｉ　Ｔｈｏｓｉｎ，Ｔａｋｕｍｉ　Ｎｉｓｈｉ—ｍｏ—　３１　Ｚｈｕ　Ｌ　Ｊ，Ｚｈｕ　Ｓ　Ｌ，Ｗａｎｇ　Ｆ　Ｈ．Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｏｘｉｄａｔｉｏｎ　ｂｅｈａｖｉｏｕｒ　ｏｆ　ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　Ｎｉ＋ＣｒＡｌＹｓｉＮ　ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ　ｃｏａ－　ｔｏ，ｅｔ　ａ１．Ｆｏｒｍａｔｉｏｎ　ｏｆ　ａ　ｒｈｅｎｉｕｍ－ｂａｓｅ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ－ｂａｒｒｉｅｒ－　ｃｏａｔｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ　ｏｎ　Ｎｉ—ｂａｓｅ　ｓｉｎｇｌｅ　ｃｒｙｓｔａｌ　ｓｕｐｅｒａｌｌｏｙ　ａｎｄ　ｉｔｓ　ｔｉｎｇ　ｗｉｔｈ　ＡｌＮ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒ　ｏｎ　Ｎｉ－ｂａｓｅｄ　ｓｕｐｅｒａｌｌｏｙ　Ｋ４１７　［Ｊ］．Ｃｏｒｒｏ　Ｓｃｉ，２０１２，６０：２６５　３２　Ｍｕｌｌｅｒ　Ｊ，Ｎｅｕｓｃｈｕｔｚ　Ｄ．Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　ｏｆ　ａ—ａｌｕｍｉｎａ　ａｓ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒ　ｂｅｔｗｅｅｎ　ｂｏｎｄ－ｃｏａｔ　ａｎｄ　ｂｕｌｋ　ｍａｔｅｒｉａｌ　ｏｆ　ｇａｓ　ｔｕｒｂｉｎｅ　ｓｔａｂｉｌｉｔｙ　ａｔ　１，４２３　Ｋ　ＥＪ］．Ｏｘｉｄ　Ｍｅｔ，２００７，６８（５—６）：３１３　２６　Ｈａｙｎｅｓ　Ｊ　Ａ，Ｚｈａｎｇ　Ｙ，Ｃｏｏｌｅｙ　Ｋ　Ｍ，ｅｔ　ａ１．Ｈｉｇｈ　ｔｅｍｐｅｒａ—　ｔｕｒｅ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒｓ　ｆｏｒ　ｐｒｏｔｅｃｔｉｖｅ　ｃｏａｔｉｎｇｓ［Ｊ］．Ｓｕｒｆ　Ｃｏａｔ　Ｔｅｅｈｎ，２００４，１８８—１８９：１５３　ｂｌａｄｅｓ　ＥＪ］．Ｖａｃｕｕｍ，２００３，７１：２４７　３３　Ｍｕｌｌｅｒ　Ｊ，Ｓｃｈｉｅｒｌｉｎｇ　Ｍ，Ｚｉｍｍｅｒｍａｎｎ　Ｅ，ｅｔ　ａ１．Ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｏｆ　ｓｍｏｏｔｈ　Ａ１２　Ｏ３　ｆｉｌｍｓ　ｏｎ　ｎｉｅｋｅｌ　ｂａｓｅ　２７　Ｃａｖａｌｅｔｔｉ　Ｅ，Ｎａｖｅｏｓ　Ｓ，Ｍｅｒｃｉｅｒ　Ｓ　Ｊ，ｅｔ　ａ１．ＮｂＷ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒ：Ｉｔｓ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｏｘｉｄａｔｉｏｎ　ｂｅｈａｖｉｏｒ　ｏｆ　ａ　Ｊ｝（Ｎｉ，　ｓｕｐｅｒａｌｌｏｙｓ　ａｓ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒｓ［Ｊ］．Ｓｕｒｆ　Ｃｏａｔ　Ｔｅｃｈｎ，　１９９９，１２Ｏ一１２１：６　３４　Ｃｒｅｍｅｒ　Ｒ，Ｗｉｔｔｈａｕｔ　Ｍ，Ｒｅｉｃｈｅｒｔ　Ｋ，ｅｔ　ａ１．Ｔｈｅｍａｌ　ｓｔａｂｉｌｉｔｙ　Ｐｔ）Ａ１　ｃｏａｔｅｄ　ｆｏｕｒｔｈ　ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ　ｎｉｃｋｅｌ－ｂａｓｅ　ｓｕｐｅｒａｌｌｏｙ［Ｊ］．　Ｓｕｒｆ　Ｃｏａｔ　Ｔｅｃｈｎ，２００９，２０４：７６１　２８　Ｒｏｌｌｓ　Ｒ。Ｓｈａｗ　Ｒ　Ｄ＿Ｔｈｅ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ　ｏｆ　ｂｏｒａｔｅ　ｃｏａｔｉｎｇｓ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｏｆ　Ａｌ－Ｉ二）＿Ｎ　ＰＶＤ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒｓ［Ｊ］．Ｓｕｒｆ　Ｃｏａｔ　Ｔｅｃｈｎ，　１９９８，１０８—１０９：４８　ｈｉｇｈ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｏｘｉｄａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｉｒｏｎ　ＥＪ］．Ｃｏｒｒｏｓ　Ｓｃｉ，１９７４，　１４：４３１　３５　Ｃｈｅｎｇ　Ｙ　Ｘ，Ｗａｎｇ　Ｗ，Ｚｈｕ　Ｓ　Ｌ，ｅｔ　ａ１．Ａｒｃ　ｉｏｎ　ｐｌａｔｅｄ－Ｃｒ２Ｏ３　ｉｎｔｅｒｍｅｄｉａｔｅ　ｆｉｌｍ　ａｓ　ａ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒ　ｂｅｔｗｅｅｎ　ＮｉＣｒＡｌＹ　２９　Ｃｏａｄ　Ｊ　Ｐ，Ｒｉｃｋｅｒ　ｂｙ　Ｄ　Ｓ，Ｏｂｅｒｌａｎｄｅｒ　Ｂ　Ｃ　Ｔｈｅ　ｕｓｅ　ｏｆ　ｔｉｔａ－　ｎｉｕｍ　ｎｉｔｒｉｄｅ　ａｓ　ａ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒ　ｆｏｒⅣ【＿Ｃｒ＿Ａｌ—Ｙ　ｃｏａｔｉｎｇｓ　ａｎｄ　ＴｉＡ１［Ｊ］．Ｉｎｔｅｒｍｅｔａｌｌｉｃｓ，２０１０，８７：３６　３６　Ｋｎｏｔｅｋ　Ｏ，Ｉｕｇｓｃｈｅｉｄｅｒ　Ｅ，Ｌｏｆｔｉｅｒ　Ｆ，ｅｔ　ａ１．Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｂａｒｒｉｅｒ　ｃｏａｔｉｎｇｓ　ｗｉｔｈ　ａｃｔｉｖｅ　ｂｏｎｄｉｎｇ　ｄｅｓｉｇｎｅｄ　ｆｏｒ　ｇａｓ　ｔｕｒｂｉｎｅ　ｂｌａｄｅｓ　［Ｊ］．Ｍａｔｅｒ　Ｓｃｉ　Ｅｎｇ，１９８５，７４：９３　３Ｏ　Ｌｉ　Ｗ　Ｚ，Ｗａｎｇ　Ｑ　Ｍ，Ｇｏｎｇ　Ｊ，ｅｔ　ａ１．Ｉｎｔｅｒｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｒｅａｃｔｉｏｎ　ｉｎ　ＣｒＮ　ｉｎｔｅｒｌａｙｅｒ　ｉｎ　ｔｈｅ　ＮｉＣｒＡｌＹ／ＣｒＮ／ＤＳＭ１　１　ｓｙｓｔｅｍ　ｄｕ－　ＥＪ］．Ｓｕｒｆ　Ｃｏａｔ　Ｔｅｃｈｎ，１９９４，６８—６９：２２　ｒｉｎｇ　ｔｈｅｒｍａｌ　ｔｒｅａｔｍｅｎｔ　ＥＪ］．Ａｐｐｌ　Ｓｕｒｆ　Ｓｃｉ，２００９，５５：８１９０　（责任编辑杨霞）