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专利名称：物体表面检测装置及硅片检测装置专利类型：发明专利发明人：汪晓波
申请号：CN201910048011.X申请日：20190118公开号：CN111458293A公开日：20200728
摘要：本发明实施例提供一种物体表面检测装置，包括：光源，用于提供能够照射至目标物体的第一待测面的第一光束和照射至目标物体的第二待测面的第二光束；光程调整装置，设置于所述第一光束和/或所述第二光束的光路中，用于调节所述第一光束照射至所述目标物体的第一待测面、以及经所述第一待测面反射至所述图像采集装置的第一光程；和/或，调节所述第二光束照射至所述目标物体的第二待测面、以及经所述第二待测面反射至所述图像采集装置的第二光程，使得所述第一光程与所述第二光程相等；图像采集装置，设置于所述目标物体的一侧，用于采集所述第一光束和所述第二光束分别照射至所述目标物体的所述第一待测面和所述第二待测面后反射所形成的图像。
申请人：长沙青波光电科技有限公司
地址：410000 湖南沙市高新开发区桐梓坡西路229号金泓园A-7栋303
国籍：CN
代理机构：北京派特恩知识产权代理有限公司
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