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专利名称：一种触摸屏激光刻蚀机专利类型：实用新型专利
发明人：倪鹏玉,刘义军,李世印,陈墩权申请号：CN201420448021.5申请日：20140808公开号：CN204053240U公开日：20141231
摘要：本实用新型提供了一种触摸屏激光刻蚀机，所述激光刻蚀机包括机架、工作台部件、真空载台部件、横梁Z轴部件、光路部件、CCD部件、工控机和激光器，所述工作台部件和横梁Z轴部件固定在机架上，所述真空载台部件固定在工作台部件上，所述光路部件、CCD部件、工控机和激光器固定在横梁Z轴部件上。本实用新型采用直线电机及精密导轨导向传动，高精度光栅全闭环反馈控制，有效保证设备的重复、定位精度，提高产品的效率及良品率，解决传统的黄光化学刻蚀和市场上手动大幅面激光刻蚀的良率低，占用人力资源多的问题。
申请人：福建省辉锐电子技术有限公司
地址：362000 福建省泉州市鲤城区高新技术园区1303号三号楼三层
国籍：CN
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