三氯氢硅的沸点约为57℃。
三氯氢硅（Silicon Tetrachloride）是一种无色气体，由Si和Cl元素组成，化学式为SiCl4. 三氯氢硅的沸点为：117.6℃（（245.2℉），提高97度后即可沸腾，比起氢氯化硅（SiHCl3）的沸点（-86.8℃）要高出很多。该物质在沸点之上易分解为氯化氢（HCl）和硅（Si）：SiCl4 → Si + 2HCl. 三氯氢硅同样也能分解为二氯硅（SiCl2）和氯气（Cl2）：SiCl4 → SiCl2 + Cl2。
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